1、设备优势
自动搬运,自动封堵,实现腔内充氦
2、设备参数
真空腔
≥2000mm
测试压力
4Mpa
泄漏标准
1E-5 pam³/s (≥80%He)
检测精度
1E-7pam³/s
测试节拍
80s
本底背景量级
0.01g/y
氦气回收率
≥98%
检漏方式
全自动检漏
电话:022-58501645转8007