氦检是把氦气作为示踪气体充注到被检验工件中，将工件泄漏出来的氦气，通过质量分析管转换成相应的微电流信号，从而确定氦的泄漏量，进而判定工件的泄漏是否合格的一种质谱检测方法。那么如果氦检设备内部泄漏怎么处理呢?下面我们一起来了解。

　　(1)内部的密封结构，当氦检设备内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。

　　氦检设备内部主要的密封部位在氦检设备的后侧，位于隔热板的上方：

　　①氦检设备测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，氦检设备在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。

　　②氦检设备各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

　　(2)定位方法，采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因L200+ 氦检设备内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

　　(3)氦检设备处理方法，不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。

　　检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。

　　氦检设备电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时易被忽视，此处若有漏可先进行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。