氦检是把氦气作为示踪气体充注到被检验工件中,将工件泄漏出来的氦气,通过质量分析管转换成相应的微电流信号,从而确定氦的泄漏量,进而判定工件的泄漏是否合格的一种质谱检测方法。那么如果氦检设备内部泄漏怎么处理呢?下面我们一起来了解。
(1)内部的密封结构,当氦检设备内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。
氦检设备内部主要的密封部位在氦检设备的后侧,位于隔热板的上方:
①氦检设备测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,氦检设备在运输过程中如遇到强烈震动,此处容易造成密封胶开裂。
②氦检设备各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5年以上时,有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法,采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因L200+ 氦检设备内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将氦源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。②喷吹时,要严格控制氦源的流量,尽量采用喷枪咀流量小的喷枪,提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
(3)氦检设备处理方法,不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。
检漏接口与阀门组块的连接部位有漏,可先采用灌胶密封处理,若密封性仍不能满足要求,需从厂家购买新品进行更换。
氦检设备电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏,则对密封圈进行更换,并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净,且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气,会影响仪器本底)等密封添加剂。各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封,若有漏,更换密封圈即可。注意事项同上。真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封,该密封环节在检测时易被忽视,此处若有漏可先进行灌胶处理,但探针间距很小,可操作空间有限,若灌胶后密封效果不佳,则从厂家购买新品进行更换。
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