以氦为示漏气体的真空质谱检漏仪，泄漏检测设备是一种真空检漏中的高灵敏度、普遍应用的检漏装置，由真空系统、离子源、电子线路、接收器、分析器及其它电气部分所构成。

　　目前，泄漏检测设备装置多是磁偏转型的。本文将以诺益180°的磁偏转型泄漏检测设备仪为例进行其主要参数的简述。

　　1、清除时间、反应时间的测定

　　清除时间与反应时间可以表征检漏仪的动态特性。通常是规定泄漏检测设备的清除时间与反应时间要小于3s。清除时间与反应时间与检漏装置的真空系统的抽速、体积以及流导等抽气系统参数所密切相关，也受离子流放大器等电子学线路的时间常数所影响。若检漏装置中含有能吸收或放出氮气的零件或材料，也会影响清除时间与反应时间的测定。当输出指示与漏率为非线性关系时，会导致清除时间与反应时间的测定出现误差。

　　2、工作真空、极限真空与节流阀处的抽速

　　在泄漏检测设备的使用和选择时，需留意极限真空、工作真空及节流阀的抽速，均为装置的重要参数。

　　在检漏时，被检设备有可能存在漏气，也会有出气，若不采用辅助真空抽气系统，则被检设备的漏气与虚漏的总气流量就要全部通过泄漏检测设备仪的检测。

　　越高的工作压力，在节流阀处会有越大的抽速，检漏装置就越能在恶劣条件下适应，而后进行检漏，这对大真空器件的检漏尤其需要重视。

　　比较小的真空器件，只适用于去气较好的、小型的装置检漏。装置的工作压力不应设计太低，因为在检漏装置运转时，要达到较低的工作压力是需要话比较长的时间的。一般工作压力选择在10Pa-10Pa的压力范围内。

　　在利用泄漏检测设备进行真空镀膜检漏时，若质谱室中压力过低，需要利用针阀将气量放入，使质谱室的压力达到工作压力值。放入气量越大，装置此气体浓度以及仪器灵敏度就越高，越有利于检漏。进行很大的出气和漏气的被检真空室的检漏时，节流阀抽速与工作压力也是越大越好。因为此时需通过辅助真空系统来起分流作用，使其检漏灵敏度降低，用以帮助仪器抽气。但节流阀抽速与工作压力越大，辅助真空装置的分流作用则会越小，也会降低一点检漏的灵敏度。