真空镀膜设备中用于残余气体分析的质谱仪可以用H、He、Ar等作为示踪气体进行泄漏检测，但这些泄漏检测仪的泄漏检测灵敏度不同。自20世纪40年代以来，质谱仪在泄漏检测中的应用进一步促进了泄漏检测技术的发展。对氦检设备的评价需要充分了解其主要性能指标。灵敏度是氦检设备的主要参数。由于各国对氦检设备灵敏度的定义不一致，在中国，氦检设备的灵敏度基本上用较小可检漏率来表示。

　　氦检设备的较小可检漏率(灵敏度)，指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下(示漏气体采用的是一个大气压的纯氦)，做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。

　　1、工作条件。

　　指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔;检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。

　　2、动态检漏。

　　指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的;

　　3、氦检设备较小可检。

　　指其信号是本底噪声的两倍;

　　4、漏孔的漏率。

　　指干燥空气(100kPa的压力)经漏孔通向真空端(远远低于100kPa的压力)的漏率。

　　氦检设备对氦分压变化有反应的氦检设备，为表征这种反应特性，较好给出检漏装置的较小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下(工作压力一般为10Pa~10Pa)的质谱室，使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦检设备中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。